Limitazione meccanica dell'ampiezza del moto di drive in giroscopi MEMS

Questo lavoro di tesi ha origine dall’interesse nella realizzazione di un giroscopio MEMS che implementi un controllo d’ampiezza meccanico del moto di masse di silicio. L’obiettivo di questa tesi consiste nel verificare il funzionamento e le potenzialità di un giroscopio appositamente disegnato affinchè urti periodici limitino meccanicamente il moto di drive, nonché di confrontarne le prestazioni con i classici giroscopi dotati di un controllo dello spostamento di tipo elettronico: partendo da una caratterizzazione in camera pulita, il problema sarà affrontato sotto diversi punti di vista, dalla descrizione strutturale e teorica del dispositivo, alla sua simulazione, alla misura sperimentale. È stata inoltre progettata e realizzata una scheda elettronica dedicata, che permetta un confronto sperimentale tra i due tipi di giroscopi analizzati. Infine sarà posta particolare attenzione all’analisi del controllo meccanico stesso, per individuarne problemi e comprenderne le potenzialità: considerazioni e risultati che saranno utili per futuri indagini a riguardo.