Magnetometri MEMS monolitici triassiali : analisi di sistema, sviluppo di elettronica e caratterizzazione

This Master Thesis work, carried out at the Sensors and Detectors Laboratory of the Department of Electronics, Information and Bioengineering of Politecnico di Milano, focuses on an innovative MEMS triaxial monolithic magnetic field sensor. This device, whose operation is based on the Lorentz force, proposes to replace the magnetometers currently on the market, used to build a 6, 9 or 10-DOF IMU integrated in a single package. The following chapters will examine the working principle of the sensor and describe the structure of the magnetometer under test. The electronic board, designed for the device characterization, and the measurements obtained through it will also be shown in detail.

Questo lavoro di Tesi, svolto presso il Laboratorio di Sensori e Rivelatori del dipartimento di Elettronica, Informazione e Bioingegneria del Politecnico di Milano, si concentra su un innovativo sensore di campo magnetico triassiale monolitico realizzato in tecnologia MEMS. Questo dispositivo, il cui funzionamento si basa sulla forza di Lorentz, si propone di sostituire i magnetometri oggi presenti sul mercato utilizzati nella realizzazione di IMU a 6, 9 o 10 assi integrati in un unico package. Nei capitoli che seguono verrà analizzato il funzionamento del sensore e descritta la struttura del magnetometro sotto esame. Sarà inoltre mostrata nel dettaglio la scheda elettronica progettata per la caratterizzazione del dispositivo e le misure ottenute tramite essa.