Accelerometri MEMS : modellizzazione dell'offset e caratterizzazione in laboratorio industriale

ST microelectronics, in a partnership with Politecnico di Milano, is involved in studying and developing MEMS accelerometers characterised by higher and higher performances when it comes to resolution and accuracy. This work begins covering the physical models describing the MEMS capacitive accelerometers, focusing subsequently on the development of suitably optimised setups for collecting measures of static and dynamic parameters of the ST Microelectronics MEMS devices. It illustrates some analysis and experimental results about the temperature variation in the zero-g offset, one of the most critical parameters for the operation of this kind of sensors when used as inclinometer.

La STMicroelectronics, in collaborazione con il Politecnico di Milano, è impegnata nello studio e nello sviluppo di accelerometri MEMS sempre più performanti in termini di risoluzione e accuratezza. La presente tesi descrive dapprima i modelli fisici che descrivono gli accelerometri MEMS capacitivi, successivamente si concentra sullo sviluppo di setup opportunamente ottimizzati per la raccolta delle misure relative ai parametri statici e dinamici dei dispositivi MEMS di ST Microelectronics; ed infine descrive alcune analisi e risultati sperimentali sulla variazione in temperatura dello Zero-g offset, uno dei parametri più importanti per l’utilizzo di questa tipologia di sensori come inclinometri.