Vibration rectification error in accelerometri MEMS per applicazioni automotive

In this thesis, carried out at STMicroelectronics, partner of Politecnico of Milan and engaged with it in the development of more and more performing MEMS devices, the phenomenon of the Vibration Rectification Error is studied. This effect, often neglected, causes a reduction in the performance of some categories of accelerometers. In the present thesis work, therefore, this phenomenon has been analyzed through the development of theoretical models and an accurate experimental characterization. Following this activity, possible solutions were found in order to reduce the effect of the error.

Nella presente tesi, svolta presso l’azienda STMicroelectronics, partner del Politecnico di Milano ed impegnata con esso nello sviluppo di dispositivi MEMS sempre più performanti, viene studiato il fenomeno del Vibration Rectification Error. Tale effetto, spesso trascurato, provoca una riduzione delle prestazioni di alcune categorie di accelerometri. Nel presente lavoro di tesi, dunque, tale fenomeno è stato analizzato attraverso lo sviluppo di modelli teorici ed un’accurata caratterizzazione sperimentale. A seguito di quest’attività, sono state ricavate delle possibili soluzioni per ridurre l’effetto dell’errore.