Femtosecond laser micromachining of borosilicate glasses

In this thesis work a comprehensive discussion about micro-machining of boro-silicate glasses is proposed. In particular, the project is focused on studying the response of Borofloat 33 from Schott and Eagle XG from Corning when exposed to femtosecond laser pulses. During this phase, low loss single mode waveguides (better than 0.5 dB/cm) and effective selective material removal through chemical etching have been demonstrated on both glasses. Finally, a photonic device that exploits o-groove to passively align a launching optical fiber (SMF125) to a single mode waveguide has been fabricated and characterized.

In questo lavoro di tesi viene affrontata la tematica della micro-fabbricazione su vetri borosilicati. In particolare, ci si propone di studiare la risposta del Borofloat 33 (Schott) e del Eagle XG (Corning) quando vengono irraggiati con impulsi laser a femtosecondi. In questa fase è stato possibile realizzare su entrambi i vetri guide d’onda a singolo modo e basse perdite (migliori di 0.5 dB/cm). Inoltre entrambi i materiali si sono dimostrati idonei per la fabbricazione attraverso la rimozione selettiva di materiale tramite bagno chimico. Infine è stato realizzato e caratterizzato un dispositivo fotonico che sfrutta dei micro-canali per allineare passivamente una fibra ottica di lancio (SMF125) ad una guida d’onda a singolo modo.