Realization of self-holding waveguide intensity actuators through the use of electrochemical intercalation

This thesis work is focused on the experimental realization of non- volatile optical intensity actuators for real waveguide devices. To carry out this work, we exploit the electrochromicity of a tung- sten trioxide (WO 3 ) layer which is deposited as cladding on an indium phosphide (InP) chip after the development of a lithographical mask by driving chemical intercalation and deintercalation electrically. This allows us to achieve on demand changes of behavior between two levels on real chips which are self holding and require very little power, and only during the switching process, advancing the available literature on set and forget, energy efficient optical actuators.

Il lavoro raccolto in questa tesi si è concentrato sulla realizzazione sperimentale di un attuatore non volatile di intensità ottica per dispositivi fotonici. Per svolgere questo lavoro, sfruttiamo l'elettrocromicità di uno strato di triossido di tungsteno (WO3) depositato su un chip di fosfuro d'indio (InP) dopo lo sviluppo di una maschera litografica, guidando elettricamente l'intercalazione e la deintercalazione d'idrogeno. Questo ci permette di ottenere a volontà cambiamenti del comportamento del chip, in maniera reversibile, auto-sostenuta e che richiede poca energia solo durante il processo di cambiamento, avanzando la letteratura disponibile su attuatori ottici di tipo "set and forget".