Caratterizzazione sperimentale di celle di memoria per array 3D

Il presente lavoro di Tesi di Laurea Magistrale si colloca all’interno della ricerca su celle di memoria floating body come possibile evoluzione delle tradizionali memorie flash e delle memorie di tipo charge trapping. Dal confronto tra le tecnologie emerge un sostanziale allineamento dei dati e delle prestazioni delle architetture analizzate, a testimonianza di come l’impossibilità di contattare il substrato non costituisca un limite nella realizzazione di dispositivi di memoria efficienti e performanti. I vantaggi della morfologia delle memorie TANOS e SONOS a substrato flottante risiedono nella possibilità di sviluppare le stringhe su più piani e conseguentemente realizzare array di memorie 3D che possono aumentare la capacità di memorizzazione dei dati dei dispositivi elettronici.