Design, fabrication and experimental characterization of a MEMS ring resonator

In recent times, there has been a remarkable upswing in the development of Micro Electron Mechanical Systems (MEMS), with these cutting-edge devices becoming progressively ubiquitous in the market, aptly meeting the burgeoning demand. Within the scope of our project, our emphasis is placed on a comprehensive exploration of the ring resonator design, fabrication and experimentation. In the initial phase, we design the ring resonator through the commercial software Klayout and Comsol Multiphysics. Following the discernment of an optimal shape and parameter set, we proceeded to fabricate this design and then to test it at the Polifab facilities. Ultimately, we compared experimental data with the simulated values in order to identify fabrication imperfections. After an extensive and rigorous series of experiments, we are proud to announce that we have successfully developed a mature experimental process for fabricating a MEMS ring resonator. This achievement paves the way for a wide range of applications in future studies.

In tempi recenti, c’è stato un notevole aumento nello sviluppo dei Microsistemi Elettromeccanici (MEMS), con questi dispositivi all’avanguardia che diventano progressivamente onnipresenti nel mercato, soddisfacendo adeguatamente la crescente domanda. Nel contesto del nostro progetto, il nostro focus è posto su un’esplorazione completa del design, della fabbricazione e della sperimentazione del risonatore ad anello. Nella fase iniziale, progettiamo il risonatore ad anello attraverso i software commerciali Klayout e Comsol Multiphysics. Dopo aver discernito una forma e un set di parametri ottimali, abbiamo proceduto a fabbricare questo design e poi a testarlo presso le strutture Polifab. Infine, abbiamo confrontato i dati sperimentali con i valori simulati al fine di identificare le imperfezioni di fabbricazione. Dopo una serie estesa e rigorosa di esperimenti, siamo orgogliosi di annunciare che abbiamo sviluppato con successo un processo sperimentale maturo per la fabbricazione di un risonatore ad anello MEMS. Questo risultato apre la strada a una vasta gamma di applicazioni in studi futuri. Spero che questa traduzione ti sia d’aiuto!