Caratterizzazione elettro-ottica di dispositivi MEMS per picoproiettori a scansione

This thesis is part of a research on MEMS devices developed at STMicroelectronics. In particular, we dealt with the characterization of MEMS micromirrors made for a scanner Picoprojector. The work concerns the realization of optical and electrical setup for the characterization of two devices, a resonant one for the horizontal scanning and vertical one for vertical scanning. Characterization, both static and dynamic, has allowed us to obtain information for design optimization and correction of malfunctions. The optimization has affected both the driving signals, both the mechanical characteristics of the device. In a second time, thanks to the knowledge gained from devices we have achieved a measure of the variation of resistance of the spring that turns out to be synchronous with the movement of the mirror. The results obtained are very attractive for future use.

Il lavoro di tesi si inserisce nell’ambito di ricerca sui dispositivi MEMS sviluppato presso la STMicroelectronics. In particolare ci siamo occupati della caratterizzazione di microspecchi MEMS realizzati per un Picoproiettore a scansione. Il lavoro svolto riguarda la realizzazione del setup ottico ed elettrico per la caratterizzazione dei due dispositivi, uno risonante, per la scansione orizzontale, e uno lineare per la scansione verticale. La caratterizzazione, sia statica sia dinamica, ha permesso di ottenere le informazioni per l’ottimizzazione dei progetti e per la correzione dei difetti di funzionamento. L’ottimizzazione ha interessato sia il pilotaggio, sia le caratteristiche meccaniche del dispositivo. In un secondo momento, grazie alla conoscenza acquisita sui dispositivi abbiamo realizzato una misura della variazione di resistenza della molla che risulta essere sincrona con il movimento dello specchio. I risultati ottenuti sono molto interessanti soprattutto per eventuali utilizzi futuri.