Surface modification of silicon as anti-stiction in MEMS

SERRAO, DAVIDE
2011/2012

RAYGANI, ANAHIT
ING III - Scuola di Ingegneria dei Processi Industriali
20-dic-2012
2011/2012
Tesi di laurea Magistrale
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Tesi specialistica - Serrao.pdf

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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/10589/72567