Sviluppo ed Ingegnerizzazione di una piattaforma di caratterizzazione di sistemi micro e nano elettromeccanici

La fase di test di sistemi nano e micro-elettromeccanici è di fondamentale importanza per validare il loro modello teorico, migliorarlo, e permettere la realizzazione di modelli sempre più prestanti, come l'enorme spinta innovativa di questo settore impone. Nell'ottica di realizzare MEMS con alto grado di affidabilità e ripetibilità, risulta cruciale lo studio del loro comportamento, oltre che a fetta aperta, chiusi in package. Il lavoro di tesi svolto vuole dare un contributo alla realizzazione di un sistema di misura compatto e versatile, che sia in grado di eseguire una caratterizzazione elettromeccanica dinamica e statica di MEMS, sia aperti sia chiusi in package, su fetta o singolati. Partendo da un'elettronica di front-end già realizzata, si è progettato un sistema mixed-signal, gestito da una FPGA, e un'interfaccia grafica per generare, configurare e selezionare segnali di test cui sottoporre il sistema elettromeccanico, che permettano una sua caratterizzazione. Stabilite le specifiche, si è passati alla progettazione del sistema, alla sua realizzazione e, infine, a misure sperimentali per verificarne il corretto funzionamento.