Progettazione, analisi delle criticità e caratterizzazione di giroscopi MEMS nanostrutturati e dell'elettronica di pilotaggio

Il gruppo di ricerca del Laboratorio di Sensori e Rivelatori del Dipartimento di Elettronica del Politecnico di Milano sta collaborando al progetto europeo NIRVANA, il cui obiettivo e lo sviluppo di sensori di movimento basati su una tecnologia MEMS con elementi nanostrutturati. La presente tesi descrive i modelli sici che descrivono il funzionamento dei giroscopi e le possibili scelte progettuali. Sono inoltre presentati e discussi i risultati sperimentali ottenuti caratterizzando delle strutture di test, le quali sono poi state utilizzate per la realizzazione di un oscillatore di drive, e di una versione dello stesso circuito con implementazione di un controllo automatico della velocit a. In ne si espongono i primi risultati ottenuti da simulazioni inerenti l'analisi preliminare di un giroscopio triassiale per applicazioni mediche, che sar à successivamente progettato sempre nell'ambito di questo progetto europeo.